实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具

• 作者: 杜刚 甘学温 肖志广
• 来源期刊: 北京大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 实验设计 响应表面 优化设计 TCAD工具
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 页码范围: 713-718
• 页数: 6页
• 分类号: TN402
• 字数: 4252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0479-8023.2002.05.019

摘要

鉴于PC机广泛普及和使用方便,在PC机上建立起实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具.利用已有的工艺模拟软件SUPREM、器件模拟软件MINIMOS及电路模拟软件PSPICE,完成了响应表面拟合、SPICE模型参数提取及数据转换等程序,形成一个可以进行工艺、器件及电路分析和优化设计的TCAD工具,并用于研究实验设计方法在IC优化设计中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	甘学温	北京大学微电子学研究所	13	141	7.0	11.0
2	杜刚	北京大学微电子学研究所	15	56	5.0	7.0
3	肖志广	北京大学微电子学研究所	2	20	2.0	2.0