非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究

• 作者: 何万强 雷旭
• 来源期刊: 纺织高校基础科学学报
• 关键词: 等离子体 非平衡 磁控溅射 遮以阴影
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8341.2002.01.006

摘要

鉴于真空镀膜机中,非平衡磁场控制溅射系统的"遮以阴影"弊端,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案,为增加等离子体的范围和密度,改善镀制膜的结构和性质作了新的尝试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何万强	西安工业学院科研处	5	38	3.0	5.0
2	雷旭	西安工业学院科研处	6	39	3.0	6.0