等离子体渗氮用微脉冲电源的研制

• 作者: 孙奉娄 熊承义
• 来源期刊: 中南民族大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微脉冲电源 等离子体 渗氮
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 电子与信息科学
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TN861
• 字数: 1419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2002.01.012

摘要

研制开发了一种等离子体渗氮用高频微脉冲电源,其工作频率在100 kHz以上,能很好地抑制弧光放电和空心阴极效应,能更有效地实现小孔径内表面等特殊条件下的离子渗氮处理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊承义	中南民族大学电子与信息工程学院	68	460	13.0	18.0
2	孙奉娄	中南民族大学电子与信息工程学院	76	434	13.0	15.0