光干涉法测量微机械零件变形的研究

• 作者: 周肇飞 张涛 王世华 田云辉
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光干涉法 变形测量 微加速度计 机械零部件
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1|TG806
• 字数: 3256字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.05.011

摘要

介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究.将准直单色光投射入由一玻璃片和被测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收.用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图.该方法可对微小器件的微位移作分辨力为 10nm的测量,并直观的显示测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学激光应用技术研究所	178	773	14.0	19.0
2	田云辉	四川大学激光应用技术研究所	6	22	2.0	4.0
3	王世华	四川大学激光应用技术研究所	15	123	7.0	10.0
4	周肇飞	四川大学激光应用技术研究所	37	432	12.0	20.0