氧化温度对Fe+Cr改性多元膜氧化行为的影响

• 作者: 王国庆 胡社军 蒙继龙 谢光荣 谢致薇
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多元膜 多弧离子镀 氧化
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TG142.45
• 字数: 1738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2002.01.014

摘要

对Fe+Cr改性多元氮化物薄膜, 即(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究, 结果表明: (1) 这种多元膜在600℃以上温度下的氧化增重均低于TiN膜, 加热至600℃膜层仍保持良好的光泽, 加热至800℃膜层仍保持完整, 没有类似TiN膜的局部脱落现象, 说明这种多元膜具有优于TiN的抗高温氧化性能; (2) 600℃氧化1 h后, X射线衍射(XRD)谱上没有出现类似于TiN场合下出现的氧化铜的谱线, 说明这种多元膜可以有效地抑制铜基体的氧化, 具有优于TiN膜的保护性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡社军		66	842	14.0	26.0
2	谢光荣		82	729	14.0	23.0
3	蒙继龙		56	634	15.0	23.0
4	谢致薇		85	436	12.0	15.0
6	王国庆		32	465	12.0	21.0