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PVT法制备4英寸碳化硅单晶研究
4英寸
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国内首台毛纺高速精梳机研制成功
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文献信息
篇名 直径18英寸直拉硅单晶研制成功
来源期刊 光学精密机械 学科 工学
关键词 直拉硅单晶 研制 北京有色金属研究总院
年,卷(期) 2002,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 27-28
页数 2页 分类号 TN304.12
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研究主题发展历程
节点文献
直拉硅单晶
研制
北京有色金属研究总院
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密机械
季刊
长春市卫星路7089号
出版文献量(篇)
3901
总下载数(次)
5
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0
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