Nb掺杂BaTiO3薄膜的激光分子束外延及其特性

• 作者: 吕惠宾 戴守愚 杨国桢 赵彤 陈凡 陈正豪 颜雷
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光分子束外延,氧化物薄膜,BaNb0.3Ti07O3,超晶格 ,n型导电薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电子材料制备和检测
• 页码范围: 61-63
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 1771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.z1.016

摘要

用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi 1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti 0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4*!,达到原子尺度光滑.霍 尔测量表明BaNbxTi1-xO3薄膜为n型导电薄膜;在室温下,BaNb0 .02Ti0.98O3、BaNb0.2Ti0.8O3和BaNb0.3Ti0.7O 3薄膜的电阻率分别为2.43×10-4Ω*cm、1.98×10-4Ω*cm和1.297×10 -4Ω*cm,载流子浓度分别为5.9×1021cm-1、6.37×1021cm- 1和9.9 ×1021cm-1.