激光分子束外延ZnO薄膜的缺陷发光研究

• 作者: 张栋 李兰英 王长征
• 来源期刊: 南宁师范大学学报（自然科学版）
• 关键词: 激光分子束外延 ZnO薄膜 光致发光 缺陷
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 41-44
• 分类号: O472.3|O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8743.2010.01.007

摘要

利用激光分子束外延方法在温度为573 K的单晶硅(100)衬底上制备了不同氧压条件下的氧化锌薄膜,对其结构和光学特性进行了研究.结果表明:所有的ZnO薄膜都具有很好的C轴择优取向.在氧压为1 Pa时,薄膜紫外发光最强,半高宽最窄(101 meV).变温发光光谱表明:当温度从80 K升至室温时,制备氧压为1 Pa的薄膜未发现可见光发射;而制备氧压为30 Pa的薄膜随着测量温度的降低,出现了可见光发射,并且随着测量温度的降低,与氧空位、氧占位和氧替锌位相关的缺陷发光峰出现红移,而与氧替锌位发光峰相近的锌位缺陷发光峰出现蓝移.