ZnO薄膜的物理性质与制备方法研究

• 作者: 叶志清 吴木生 欧阳桂仓
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: ZnO薄膜 物理性质 制备方法
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 161-164
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2008.01.042

摘要

ZnO为Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,是一种极具潜力的新型功能材料.给出了ZnO薄膜的主要物理性能,并对制备方法作了比较详尽的介绍,包括激光脉冲沉积法、磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法、溶胶凝胶法、喷雾热解法、分子束外延法、原子层外延生长法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志清		26	140	8.0	10.0
2	吴木生	江西师范大学物理与通信电子学院	11	86	4.0	9.0
3	欧阳桂仓	江西师范大学物理与通信电子学院	2	23	2.0	2.0