浅谈ZnO薄膜的制备方法及其表征

• 作者: 万文琼
• 来源期刊: 景德镇学院学报
• 关键词: ZnO薄膜 制备方法 表征方法
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 化学与生物学研究
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 分类号: O612.3
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了ZnO薄膜的几种主要的制备方法，有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法，再对所制薄膜的表征方法进行介绍，有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、四探针法、原子力显微镜。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万文琼	景德镇陶瓷学院科技艺术学院	8	8	2.0	2.0