Al-N共掺杂型ZnO薄膜的制备及其性能研究

• 作者: 王娟 窦玉博 许莹
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 掺杂 ZnO 光电性能 薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 11-16
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2010.11.004

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了Al-N共掺ZnO薄膜.用X射线光电子能谱检测Al-N共掺杂情况;用X射线衍射仪、原子力显微镜、场发射扫描电镜、分光光度计、霍尔测量仪等分析测试手段,分别研究了Al-N共掺的掺杂浓度和热处理温度对薄膜的结晶性能、微观形貌和光电性能的影响.结果表明:在基质ZnO溶胶浓度为0.5mol/L,Al-N掺杂摩尔浓度为10%,热处理温度600℃下,Al-N共掺ZnO薄膜的结晶性能、微观形貌和光电性能最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许莹		5	17	2.0	4.0
2	王娟		3	15	2.0	3.0
3	窦玉博		2	15	2.0	2.0