离子束增强沉积Al-N共掺杂ZnO薄膜的制备

• 作者: 周懿 李金华 袁宁一 谢建生 陈汉松
• 来源期刊: 江苏工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 退火 离子束增强沉积
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN213|O552.6|TB43
• 字数: 2465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2005.04.002

摘要

用Al2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶.在Si和SiO2/Si 衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积膜作Ar+/N+注入,制备Al-N共掺杂氧化锌薄膜(ANZO).在氮气氛中作适当的退火,可以方便地获得取向单一、结构致密、性能良好的共掺杂ZnO薄膜.探索用IBED方法在Si和SiO2衬底上制备优质掺杂薄膜的可能性.初步研究了ANZO共掺杂薄膜的结构、电学和光学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
2	谢建生	江苏工业学院功能材料实验室	9	68	4.0	8.0
3	袁宁一	江苏工业学院功能材料实验室	26	154	8.0	10.0
4	陈汉松	江苏工业学院功能材料实验室	3	20	2.0	3.0
5	周懿	江苏工业学院功能材料实验室	7	33	4.0	5.0