离子束增强沉积制备钽酸锂薄膜电性能分析

• 作者: 包勇 张德银
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束增强沉积 钽酸锂 溶胶-凝胶 介电常数 铁电特性 热释电系数
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 489-492,521
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

为提升钽酸锂薄膜的性能,提出一种离子束增强沉积法制备钽酸锂薄膜的新工艺.分别采用这种新工艺和溶胶-凝胶法制备了钽酸锂薄膜,并利用阻抗分析仪和铁电材料分析仪对制备样品进行了介电性能、铁电特性、漏电电流和热释电特性分析.实验结果表明,采用离子束增强沉积制备的钽酸锂样品经550℃退火后,介电常数为39.44,介电损耗为0.045;测试电场强度为400kV/cm时,漏电流为4.76×10-8 A/cm2,击穿场强为680kV/cm,热释电系数达到1.82×10-4/m2K.相比之下,采用溶胶-凝胶方法制备的钽酸锂薄膜样品,其介电常数、介电损耗、漏电流都更大,击穿场强和热释电系数更低.从电性能参数比较可以看出,离子束增强沉积法比溶胶-凝胶法更适合用于制备钽酸锂薄膜.