离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜

• 作者: 张春渤 谢建生 陈强
• 来源期刊: 常州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Li掺杂 离子束增强沉积 退火
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN21
• 字数: 2507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2014.01.002

摘要

利用离子束增强沉积(IBED)法制备了Li掺杂ZnO薄膜(LZO),溅射靶为Li/Zn原子比为5％ZnO的陶瓷靶,实验结果显示:IBED法制备的(LZO)薄膜具有ZnO纤锌矿结构,在500℃高纯氩气下退火35min,薄膜表现为p型导电,薄膜的最低电阻率为35.03Ω·cm,制备的薄膜在可见光范围内的平均透过率在80％以上,p型LZO薄膜禁带宽度小于本征ZnO(3.37eV).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	常州大学数理学院	13	48	5.0	6.0
2	张春渤	常州大学数理学院	1	3	1.0	1.0
3	谢建生	常州大学数理学院	5	4	1.0	2.0