共掺浓度对Na-Al共掺杂ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响

• 作者: 劳子轩 帅伟强 张效华 童帆 胡克艳 胡跃辉 陈义川
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: ZnO 溶胶-凝胶 Na-Al共掺杂 微观结构 光学性能
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 51-56
• 页数: 6页
• 分类号: O472
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2016.000915

摘要

在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备得到钠铝(Na-Al)共掺氧化锌(ZnO)薄膜(NAZO).研究不同Na-Al共掺杂浓度对ZnO薄膜的结晶性、微观结构、光电性能的影响.结果表明:所有NAZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Na-Al共掺浓度,可以提高ZnO薄膜结晶性,提高薄膜的载流子迁移率;同时还可以观察到NAZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒.随着Na-Al元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95％.由于元素间固溶比的不同,适当的浓度可以提高Na-Al元素的掺杂效率和薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,NAZO薄膜最低电阻率为4.7×10-2Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效华	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	25	69	5.0	7.0
2	胡跃辉	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
3	陈义川	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
4	胡克艳	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	17	38	4.0	5.0
5	童帆	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	5	3	1.0	1.0
6	帅伟强	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	9	1	1.0	1.0
7	劳子轩	景德镇陶瓷大学机械电子工程学院	7	1	1.0	1.0