玻璃衬底上氮-铟共掺ZnO的制备及表征

• 作者: 李东临 武光明 江伟 王怡 邢光建 韩彬
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: ZnO薄膜 超声喷雾热分解 N-In共掺杂
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: "2008第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会"论文专辑
• 页码范围: 283-286
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.072

摘要

以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.并采用X射线衍射,场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响.结果表明:通过氮-铟共掺杂,ZnO基薄膜具有良好的的电学性能,但是均为n型导电,与相关文献中的结果完全相反.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武光明		41	238	8.0	14.0
2	王怡		23	121	6.0	10.0
3	韩彬	北京化工大学材料科学与工程学院	8	13	2.0	3.0
5	邢光建		30	127	6.0	11.0
6	江伟	北京化工大学材料科学与工程学院	10	26	3.0	5.0
8	李东临		11	30	3.0	5.0