退火对掺铟氧化锌薄膜结构及光学性能的影响

• 作者: 刘银春 吴义炳 张洪
• 来源期刊: 《福建农林大学学报（自然科学版）》
• 关键词: 掺铟氧化锌 溶胶-凝胶法 半高宽 光学带隙
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 650-654
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备掺铟氧化锌薄膜,研究不同退火温度对薄膜结构及发光性能的影响.结果表明,掺铟氧化锌薄膜仍为六角纤锌矿结构的ZnO相,在大于450 nm的波段薄膜样品的透射率都较高；随着退火温度的升高,透射率先增后减,600℃时达到最大；薄膜样品的光学带隙都小于纯ZnO的理论值(3.37 eV),且随退火温度的升高呈先减后增趋势；样品的结晶度与发光强度随着退火温度的升高而增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴义炳	福建农林大学机电工程学院	24	49	3.0	6.0
2	刘银春	福建农林大学机电工程学院	55	216	8.0	12.0
3	张洪	福建农林大学机电工程学院	24	44	3.0	5.0