掺杂比对掺钛氧化锌薄膜结构和光学性能的影响

• 作者: 刘汉法 孙坤峰 秦佑杰
• 来源期刊: 山东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺钛氧化锌薄膜 红外光谱 晶体结构 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2733字
• 语种: 中文

摘要

利用直流磁控溅射工艺,在室温水冷玻璃衬底和PET衬底上成功制备出了不同掺杂比的掺钛氧化锌(TZO,ZnO:Ti)薄膜.通过X射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构,用四探针对薄膜的方阻进行了测量,用紫外一可见分光光度计和红外傅里叶变换光谱仪等仪器对薄膜的光学性能进行测试分析,研究了掺杂比对TZO薄膜结构和光学性能的影响,实验结果显示,所制备不同掺杂比的TZO薄膜均为具有C轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜,掺杂比对TZO薄膜的光学性能有显著的影响,制备的TZO薄膜的平均折射率在2.01左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
2	孙坤峰	山东理工大学理学院	1	6	1.0	1.0
3	秦佑杰	山东理工大学理学院	1	6	1.0	1.0