厚度对掺铝氧化锌透明导电薄膜性质的影响

• 作者: 张天宝 李金培
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 厚度 掺铝氧化锌 透明导电 薄膜
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 1226-1229
• 分类号: TQ132.4+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0935.2011.12.002

摘要

采用紫外光助溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了掺铝氧化锌薄膜.研究了厚度对薄膜性质的影响,结果表明:所有薄膜均由具有c轴优先生长取向的六角纤锌矿结构的ZnO晶体构成,晶体的粒径随厚度的增加而先增大,达到最大值后,不再随厚度的增加而改变；薄膜的方阻随厚度的增加先减小,在达到最小值2.1×102Ω/口后,随厚度的增加又略有增大；而所有薄膜均是透明的,在可见光区的透光率＞80％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张天宝	山西农业大学文理学院	13	32	4.0	4.0
2	李金培	中国科学院理化技术研究所	40	132	7.0	9.0