生长温度对掺钛氧化锌薄膜光学性质的影响

• 作者: 周金 张腾 汪浩 钟志有
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺钛氧化锌薄膜 磁控溅射 微观结构 光学常数
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 页码范围: 34-38
• 分类号: TM914
• 字数: 2996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2012.09.009

摘要

以氧化锌钛陶瓷靶作为溅射源,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺钛氧化锌(TZO)透明导电薄膜,通过X射线衍射仪和分光光度计测试表征以及全光谱拟合法分析,研究了生长温度对TZO薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明:所有TZO样品均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向,生长温度对薄膜晶粒尺寸和光学透射率的影响较明显,而对折射率、消光系数和光学能隙的影响较小.当生长温度为200℃时,TZO薄膜的晶粒尺寸最大,可见光范围平均透射率(含衬底)为76.1％,对应的直接光学能隙为3.45 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
5	汪浩	中南民族大学电子信息工程学院	7	56	5.0	7.0
9	张腾	中南民族大学电子信息工程学院	6	50	5.0	6.0
13	周金	中南民族大学电子信息工程学院	9	37	4.0	6.0