衬底温度对钛镁掺杂氧化锌薄膜光学性能的影响

• 作者: 朱雅 王皓宁 钟志有 龙浩
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂氧化锌 薄膜 磁控溅射 光学性质
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 566-571
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 字数: 3628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12130/znmdzk.20190416

摘要

以石英玻璃作为衬底,采用射频磁控溅射技术沉积钛镁掺杂氧化锌(TMZO)薄膜样品.基于分光光度计测量的透射光谱数据,利用光学表征方法确定了薄膜样品的折射率、消光系数和光学能隙等光学参数,研究了衬底温度对TMZO样品光学性能的影响.结果表明,可见光区域所有薄膜的折射率均随波长增加而单调减小,表现为正常的色散关系,衬底温度对薄膜样品的透光性和光学参数具有明显的影响.衬底温度升高时,TMZO样品的可见光区平均透过率和光学能隙均呈现出先增后减的变化趋势,当衬底温度为300°C时,它们都具有最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	67	360	11.0	14.0
2	龙浩	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	22	53	5.0	7.0
3	王皓宁	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	10	30	3.0	5.0
4	朱雅	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	7	2	1.0	1.0