掺杂对ZnO半导体薄膜光学性能的影响

• 作者: 康淮 王皓宁 钟志有 陆轴 龙浩
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂氧化锌 半导体薄膜 光学性能
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 61-67
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3808字
• 语种: 中文

摘要

以掺杂氧化锌(ZnO)陶瓷靶为溅射源材料,采用射频磁控溅射技术在石英玻璃衬底上制备了掺杂ZnO系列半导体薄膜样品.利用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射光谱,通过Swanepoel法确定了薄膜的折射率和消光系数,利用外推法获得了薄膜的光学带隙,研究了不同掺杂对ZnO薄膜光学性能的影响.结果表明,钛掺杂和镓镁合掺后,ZnO薄膜的透过率和光学带隙增加而折射率减小;所有薄膜的折射率均随波长增加而单调减小,呈现出正常的色散特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	67	360	11.0	14.0
2	陆轴	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	19	78	6.0	8.0
3	康淮	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	11	61	6.0	7.0
4	龙浩	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	22	53	5.0	7.0
5	王皓宁	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	10	30	3.0	5.0