溅射气氛对ZnO∶N薄膜光学性能的影响

• 作者: 张雪 曹天福 李淞菲 高丽丽
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶N薄膜 溅射气氛 光学性能
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 138-142
• 页数: 5页
• 分类号: O472
• 字数: 1568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13413/j.cnki.jdxblxb.2016.01.23

摘要

以ZnO陶瓷为靶材,高纯N2和Ar为溅射气体,利用磁控溅射生长系统制备N掺杂ZnO薄膜.通过改变溅射气氛中N2的流量,研究ZnO薄膜光学性能的变化规律,其中N2流量分别控制为0,8,20,32 mL/min.结果表明:当溅射气氛中N2流量增加时,ZnO∶N薄膜的光学带隙发生改变,吸收边红移;在室温光致发光光谱中,紫外激子发射峰与可见光区发射峰强度的比值变小,紫外激子发射峰位红移;在Raman光谱中,位于272,642 cm-1附近的振动模增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高丽丽	北华大学物理学院	17	27	4.0	4.0
2	张雪	北华大学物理学院	5	5	1.0	2.0
3	李淞菲	北华大学物理学院	2	1	1.0	1.0
4	曹天福	北华大学物理学院	2	1	1.0	1.0