基片温度对镓钛共掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响

• 作者: 张腾 汪浩 钟志有
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 掺杂 光电性能
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 58-64
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3059字
• 语种: 中文

摘要

以镓钛共掺杂氧化锌(GTZO)陶瓷靶作为溅射源材料,采用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了GTZO透明导电薄膜,通过X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外光分光光度计和四探针仪等测试表征,研究了基片温度对GTZO薄膜晶体结构、电学性质和光学性能的影响.结果表明:所制备的GTZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向,其结晶质量、晶粒尺寸、方块电阻、透过率、光学能隙以及品质因数都与基片温度密切相关,当基片温度为350℃时,GTZO薄膜的品质因数最大,具有最佳的光电综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
2	汪浩	中南民族大学电子信息工程学院	7	56	5.0	7.0
3	张腾	中南民族大学电子信息工程学院	6	50	5.0	6.0