掺钛氧化锌半导体薄膜制备及其光学性质的研究

• 作者: 兰椿 汪浩 钟志有
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 掺杂 光学性质
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 51-57
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3621字
• 语种: 中文

摘要

以二氧化钛（ TiO2）掺杂的氧化锌（ ZTO）陶瓷靶作为溅射源材料，采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上沉积了ZTO半导体薄膜，利用可见-紫外光分光光度计、四探针仪测试以及多种光学表征方法，研究了陶瓷靶中TiO2含量对ZTO薄膜光学性质和光电综合性能的影响．实验结果表明：ZTO薄膜的折射率表现为正常的色散特性，其色散行为遵循有效单振子模型．TiO2含量对ZTO薄膜的电阻率、透过率、折射率、消光系数和光学带隙等具有不同程度的影响，当TiO2的质量分数为3％时，ZTO薄膜的电阻率最低、可见光平均透过率最高、光电综合性能最好．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
5	汪浩	中南民族大学电子信息工程学院	7	56	5.0	7.0
6	兰椿	中南民族大学电子信息工程学院	6	43	4.0	6.0