紫外光照射对掺铝氧化锌薄膜导电和透光性质的影响

• 作者: 张天宝 李金培
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 掺铝氧化锌薄膜 紫外光照射 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 95-103
• 页数: 9页
• 分类号: O64
• 字数: 5216字
• 语种: 中文

摘要

本文采用光助溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜.研究了紫外光照射对薄膜导电性和透光性质的影响.结果表明:光照使薄膜的导电性显著提高,且光照后薄膜方阻的降低幅度随薄膜晶粒尺寸的减小而逐渐增加;而随着紫外光照射时间延长,薄膜的紫外吸收边蓝移,近红外区透光率降低.以上实验现象可能与表面吸附氧解吸引起的载流子浓度增加、迁移率升高以及分层退火处理形成的薄膜结构有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金培	中国科学院理化技术研究所	40	132	7.0	9.0