溅射时间对掺镓氧化锌透明导电薄膜特性的影响

• 作者: 周金 杨玲玲 钟志有
• 来源期刊: 中南民族大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 掺镓氧化锌 透明导电薄膜 光电特性
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 化学与材料科学
• 页码范围: 34-37
• 分类号: TM914
• 字数: 2656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2011.03.009

摘要

采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌（GZO）透明导电薄膜,通过X射线衍射仪（XRD）、分光光度计和四探针仪等测试分析,研究了溅射时间对薄膜的晶体结构、光学和电学性能的影响.结果表明：GZO薄膜的性能与溅射时间密切相关.所制备的GZO薄膜均具有良好的c轴择优取向,可见光波段的平均透过率均高于87.97%;溅射时间越长,薄膜厚度越大,相应的晶粒尺寸减小,同时衍射峰强度呈现出先增大再减小的变化趋势,当溅射时间为25 min时,GZO薄膜的衍射峰强度最大,对应的电阻率最小（1.05×10-3Ω.cm）.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
2	周金	中南民族大学电子信息工程学院	9	37	4.0	6.0
3	杨玲玲	中南民族大学电子信息工程学院	6	58	4.0	6.0