掺镁氧化锌薄膜结构及其光学性质的研究

• 作者: 康淮 钟志有 陆轴 龙路
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 氧化锌 晶体结构 光学性质
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 64-70
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3211字
• 语种: 中文

摘要

以氧化镁(MgO)掺杂的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射靶材,采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺镁ZnO(ZnO:Mg)薄膜样品.通过X射线衍射仪和可见-紫外光分光光度计的测试表征,研究了溅射时间对ZnO:Mg薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明:ZnO:Mg薄膜的结构和性能与溅射时间密切相关.随着溅射时间的增加,ZnO:Mg薄膜(002)晶面的织构系数减小、(110)晶面的织构系数增大,对应的可见光波段的平均透过率降低.溅射时间为15 min时,ZnO:Mg薄膜样品具有最佳的(002)择优取向生长特性和最好的透光性能.同时ZnO:Mg薄膜样品的禁带宽度随溅射时间增加而单调增大.与未掺杂ZnO薄膜相比,所有ZnO:Mg薄膜样品的禁带宽度均变宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	67	360	11.0	14.0
2	龙路	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	11	55	4.0	7.0
3	陆轴	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	19	78	6.0	8.0
4	康淮	中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室	11	61	6.0	7.0