镁钇合掺氧化锌薄膜的制备及其性能研究

• 作者: 康淮 钟志有 龙浩
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 掺杂氧化锌 薄膜 光学性质
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 66-72
• 页数: 7页
• 分类号: TM914
• 字数: 3616字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2018.01.015

摘要

以镁钇掺杂的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射靶材,采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了镁钇合掺ZnO(MYZO)薄膜样品.通过X射线衍射仪和分光光度计的测试表征,研究了薄膜厚度对MYZO样品结构性质和光学性能的影响.结果表明:MYZO样品均为六角纤锌矿型的多晶结构,并且其择优取向生长特性明显受到薄膜厚度的影响,当薄膜厚度为290 nm时,MYZO样品具有(002)择优取向生长特性.另外通过光学表征方法获得了MYZO样品的光学能隙、折射率和消光系数,结果显示:MYZO样品的光学能隙大于未掺杂ZnO能隙,其折射率均表现为正常色散特性,并且遵循Wemple-DiDomenico单振子色散模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
5	康淮	中南民族大学电子信息工程学院	11	61	6.0	7.0
6	龙浩	中南民族大学电子信息工程学院	22	53	5.0	7.0