沉积温度对氧化锌薄膜结构和光学性能的影响

• 作者: 兰椿 陈首部
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 溅射 光学性能
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 97-102
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 字数: 2658字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射方法在玻璃基板上制备了氧化锌（ ZnO）薄膜样品，利用X射线衍射（ XRD）表征和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征，研究了沉积温度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响．结果表明：所有ZnO样品都是c轴高度择优取向的多晶薄膜；沉积温度对ZnO样品晶体质量和光学性能都具有明显的影响；随着沉积温度的升高，ZnO薄膜（002）衍射峰的半高宽单调减小，而（002）晶面取向度、平均晶粒尺寸和可见光波段平均透过率则单调增大．当沉积温度为500°C时，ZnO薄膜样品具有最高的（002）晶面取向度（0．987）、最大的平均晶粒尺寸（22．1 nm）和最好的可见光波段平均透过率（82．3％）．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈首部	中南民族大学电子信息工程学院	30	137	7.0	10.0
2	兰椿	中南民族大学电子信息工程学院	6	43	4.0	6.0