掺Al对ZnO薄膜结构和光电性能的影响

• 作者: 徐自强 李燕 谢娟 邓宏
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 Al掺杂 光学特性 电学特性
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 503-507
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2005.06.008

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜.通过XRD、UV透射谱和电学测试等分析方法研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响.分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角度移动,峰强逐渐减弱.薄膜电阻率随掺Al浓度变化,当掺Al浓度为1.5 %(摩尔分数),薄膜电阻率降至6.2×10-4 Ω·cm.掺Al量的增加同时使得薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
3	谢娟	电子科技大学微电子与固体电子学院	10	90	5.0	9.0
4	徐自强	电子科技大学微电子与固体电子学院	31	155	7.0	11.0