衬底温度对Al掺杂ZnO薄膜结构及其光电性能的影响

• 作者: 吴克跃 吴兴举 常磊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 磁控溅射 衬底温度 光电性能
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 2156-2159,2169
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2192字
• 语种: 中文

摘要

利用溅射方法制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了衬底温度对薄膜的形貌特征、结构和光电性能的调控.实验结果表明:衬底温度可以调控AZO薄膜的生长方式以及光电性能.随着衬底温度的升高,AZO薄膜从无规则的形状转变为球形并且其颗粒尺寸逐渐减小.XRD分析表明样品的结晶质量随着衬底温度的升高而变佳.透射光谱研究发现,在低衬底温度下,400 nm附近处有一吸收台阶,随着衬底温度升高,此吸收台阶消失,表明衬底温度影响着AZO内部的缺陷.电学性质研究表明随着衬底温度升高,AZO薄膜的导电性能也随着升高,电阻率从9×10-2 Ω·cm降到5×10-3 Q·cm.而其载流子浓度从6×1019 cm-3增加到2.2×1020 cm-3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴兴举	皖西学院材料与化工学院	29	25	3.0	3.0
2	吴克跃	皖西学院材料与化工学院	25	43	4.0	5.0
6	常磊	皖西学院材料与化工学院	1	2	1.0	1.0