激光分子束外延制备薄膜技术

• 作者: 徐东然 王长征 肖效光 马葆基
• 来源期刊: 聊城大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光分子束外延 多层膜 超晶格
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 基础科学研究
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 5206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6634.2006.03.013

摘要

激光分子束外延制备薄膜是在传统分子束外延和普通激光淀积技术基础上发展起来的,以原子层、原胞层尺度研制薄膜的技术和方法.简要介绍了激光分子束外延的装置和工作原理、特点与优势及其研究内容,并对其应用前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王长征	聊城大学物理科学与信息工程学院	40	98	5.0	7.0
2	徐东然	聊城大学物理科学与信息工程学院	3	16	2.0	3.0
3	肖效光	聊城大学物理科学与信息工程学院	12	115	4.0	10.0