基于真空镀膜技术的薄膜热传感器实验

• 作者: 叶芳 罗潇 郭航 马重芳
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 膜 测量 瞬态响应 传热 燃料电池
• 年，卷（期）: 2019,（z2）
• 所属期刊栏目: 流体力学与传递现象
• 页码范围: 123-129
• 页数: 7页
• 分类号: TK 311
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/0438-1157.20190571

摘要

采用真空蒸发镀膜技术设计制作了以云母为基片的薄膜热传感器,传感器包括一个用于热流测量的热电堆和一个用于温度测量的热电偶.综合测试发现:云母基片薄膜热传感器性能良好.封装后,薄膜热电偶的静态标定拟合直线相关系数均可以达到0.999.薄膜热流计的静态标定拟合直线的相关系数为0.99439,测头系数为8.78886 W/(m2?μV),灵敏度为0.11378 μV/(W/m2).薄膜热电偶的动态响应时间是0.446 s且具有良好的复现性.随着加载热流的增大,薄膜热流计的动态响应时间变大,阶跃热流值为600 W/m2时响应时间为0.483 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马重芳	北京工业大学环境与能源工程学院	281	3208	26.0	39.0
2	叶芳	北京工业大学环境与能源工程学院传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室	35	264	8.0	15.0
3	郭航	北京工业大学环境与能源工程学院传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室	55	435	12.0	19.0
4	罗潇	北京工业大学环境与能源工程学院传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室	1	0	0.0	0.0