合金薄膜高温压力传感器研究进展

• 作者: 李伟 陈怀礼
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 压力传感器 高温 合金薄膜
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 测控与试验
• 页码范围: 78-82
• 分类号: V434-34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2011.05.015

摘要

合金薄膜压力传感器克服了粘贴式应变压力传感器的缺点,性能更优良,适应恶劣环境压力测量要求。对合金薄膜压力传感器的工作原理进行了介绍,比较了几种压力传感器的优缺点,并以应用温度范围这一指标为中心论述了镍铬、铂钨及钯铬薄膜压力传感器的性能特点及研究现状。镍铬薄膜传感器适用于中、低温介质压力测量,而铂钨、钯铬薄膜传感器适用于更高温度环境下的压力测量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟		7	43	3.0	6.0
2	陈怀礼		2	28	2.0	2.0