镱薄膜传感器压阻灵敏度的研究

• 作者: 周鸿仁 崔红玲 杜晓松 杨邦朝 滕林 肖庆国
• 来源期刊: 高压物理学报
• 关键词: 镱薄膜 传感器 准静态加载 压阻系数 热处理 XRD谱
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 90-93
• 页数: 4页
• 分类号: O521.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5773.2004.01.016

摘要

采用真空蒸发工艺制备镱薄膜传感器,在小于1 GPa压力范围内对未经任何处理和300 ℃真空热处理1 h两组镱薄膜传感器进行准静态加载标定,后者的压阻系数明显高于前者,并且大于箔式镱传感器的压阻系数,结合扫描电镜和电学性能测试分析,发现热处理有助于薄膜晶粒长大,降低薄膜电阻率,从而提高了镱薄膜传感器的压阻灵敏度.XRD测试分析结果表明,加压有促使薄膜晶粒长大的趋势.镱薄膜传感器制作工艺简单、性能稳定,在工业中具有广泛的用途.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学微电子与固体电子学院	61	434	12.0	16.0
2	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
3	滕林	电子科技大学微电子与固体电子学院	16	88	5.0	9.0
4	周鸿仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	12	60	5.0	7.0
5	崔红玲	电子科技大学微电子与固体电子学院	16	163	5.0	12.0
6	肖庆国	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	10	2.0	2.0