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摘要:
设计、安装调试了一台微团簇离子源,其原理是气体放电与磁控溅射相结合产生溅射粒子,溅射产生的粒子经过一低真空区时,经历液氮冷凝和复杂的碰撞,形成微团簇离子,后经高压电场引出,测得离子混合束的总强度.微团簇离子束经一分析磁场,得到C+n和Al+n的质谱,并对实验的结果进行了分析讨论.
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文献信息
篇名 用于串列加速器的微团簇离子源研究
来源期刊 兰州大学学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 微团簇 气体放电 磁控溅射 液氮冷凝
年,卷(期) 2002,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 28-32
页数 5页 分类号 O561.1
字数 3443字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0455-2059.2002.05.006
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李公平 兰州大学物理科学与技术学院 75 243 7.0 12.0
2 刘正民 兰州大学物理科学与技术学院 12 45 3.0 6.0
3 丁宝卫 兰州大学物理科学与技术学院 12 22 2.0 4.0
4 张小东 兰州大学物理科学与技术学院 12 35 3.0 5.0
5 赵力 兰州大学物理科学与技术学院 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
微团簇
气体放电
磁控溅射
液氮冷凝
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
兰州大学学报(自然科学版)
双月刊
0455-2059
62-1075/N
16开
兰州市东岗西路199号(兰州大学医学校区内)
54-3
1957
chi
出版文献量(篇)
3311
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5
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33504
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