物理学研究与微电子科学技术的发展

• 作者: 康晋锋 王阳元
• 来源期刊: 物理
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子学 集成电路 摩尔定律 物理限制
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 物理学与高新技术
• 页码范围: 415-421
• 页数: 7页
• 分类号: TN4
• 字数: 10354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.07.003

摘要

回顾了微电子学的诞生和微电子技术的发展历史,展望了微电子技术未来的发展趋势.在微电子技术诞生和发展过程中具有一些里程碑式的发明,如晶体管、集成电路、集成电路平面工艺、MOS器件、微处理器、光刻技术、铜互连工艺的发明等,其中物理学研究和突破起了关键的基础作用.在社会需求、物理学研究和技术进步的推动下,微电子技术一直并将继续以特征尺寸缩小、集成度提高的模式,按摩尔定律预测的指数增长率发展.微电子技术的发展,不仅为物理学的研究提供了崭新的技术基础,而且为物理学研究展现了更为广阔的空间.但随着器件特征尺寸逐渐缩小并逼近其物理极限,微电子技术的发展将受到来自于材料、工艺和物理基础等方面的挑战,并呈现出多维发展的趋势,这些挑战涉及了微电子学与物理学的共同理论基础,需要二者互相锲合,期待新的突破.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王阳元	北京大学微电子研究所	78	1128	15.0	32.0
2	康晋锋	北京大学微电子研究所	23	358	9.0	18.0