双频激光远程直线度/同轴度测量系统

• 作者: 吴健 殷纯永 陈强华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度/同轴度测量 横向塞曼 双频 自适应 长距离测量
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 625-630
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 字数: 2771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2002.07.013

摘要

介绍了一种基于横向塞曼双频激光的直线度/同轴度测量系统,与纵向塞曼系统相比,舍去了1/4波片,减小了仪器尺寸,从原理上消除了由于1/4波片相位延迟不是严格90°造成的非线性误差;符合共路原则,对空气扰动有较强的抑制力;具有自适应性;信号处理采用比相技术,测量精度可以达到0.1°;测量元件可以暂时移出光路,挡光后数据能够自动恢复;8098单片机系统智能化稳定的频差在10 h内变化量小于0.5 kHz;系统稳定性为2 μm/h;示值线性相关系数优于0.9999;适于远程准直和同轴度测量.