集成芯片制造业环境污染的产生与危害

• 作者: 吴银彪 颜丽辉
• 来源期刊: 中国环保产业
• 学科: 地球科学
• 关键词: 芯片制造业 环境污染 污染防治
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 专题
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 分类号: X5
• 字数: 2841字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-5377.2002.04.014

摘要

本文分析了集成芯片制造过程中产生的环境污染及对人类健康的危害,对控制此类污染提出了建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜丽辉		1	5	1.0	1.0
2	吴银彪		1	5	1.0	1.0