双晶片热致动微型镜的结构设计

• 作者: 张文栋 杨晓敏 苏淑靖
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双晶片 致动器 微型镜 结构
• 年，卷（期）: 2002,（z2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统MEMS
• 页码范围: 1003-1008
• 页数: 6页
• 分类号: TM93
• 字数: 1891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z2.045

摘要

本文通过分析几种常用的致动器及双晶片热致动器的结构弯曲特性,设计出一种双晶片热致动微型镜器件的结构,并指出该器件的适应范围和特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	华北工学院电子工程系	27	265	7.0	16.0
2	苏淑靖	华北工学院电子工程系	1	1	1.0	1.0
3	杨晓敏	华北工学院电子工程系	1	1	1.0	1.0