基于线阵 CCD 的全息光栅位移传感器

• 作者: 张青臣 李开端 赵育良
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 线阵 CCD 全息光栅 位移传感器 精度
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 167-170
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.5|O438
• 字数: 1582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.03.003

摘要

目的提出了一种新型的基于全息光栅的 CCD 位移传感器. 方法利用 CCD 分辨率高, 像素均匀等特点, 对干涉条纹的移动进行精确定位, 利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响\, 适用光谱范围宽等特点, 实现位移的自动精确测量. 结果系统能够对位移实现自动精确测量. 结论该系统具有一定的实用价值及应用前景.