基于CPLD的线阵CCD尺寸测量系统研究

• 作者: 孙振路 秦旭磊 陆学飞
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 线阵CCD 非接触测量 测量精度
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 7-9,21
• 分类号: TP214
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2011.04.003

摘要

利用CCD传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法，本文介绍了一种基于线阵CCD器件TCD1206的微器件尺寸测量系统的设计方法，对系统的组成原理和工作方式进行了论证，硬件部分使用了Altera公司的CPI．D器件，实验表明系统设计方案可行，测量精度达到土0．01mm，符合设计要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦旭磊		20	61	5.0	7.0
2	孙振路	河北省科学院激光研究所	2	23	2.0	2.0
3	陆学飞		1	5	1.0	1.0