PWM数字微小型加速度计脉宽突变研究

• 作者: 文贵印 田文超 贾建援
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微小型加速度计 脉冲宽度调节 机电分析动力学 非线性突变
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 649-652
• 页数: 4页
• 分类号: TH82
• 字数: 2396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.06.026

摘要

根据机电分析动力学原理,建立了PWM悬臂电容式数字微小型加速度计摆片的机电分析动力学模型;在不同的参数下,经过对其进行大量仿真和计算,发现脉冲宽度产生突变,不再同激励加速度呈线性比例现象;分析了产生突变的原因,提出脉宽同激励加速度保持线性比例关系的必要条件,并最终调制出脉宽同激励加速度的线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0
3	文贵印		1	2	1.0	1.0