基于激光准直直线度测量方法的研究

• 作者: 冯俊艳 冯其波 刘欣 匡萃方 陈士谦
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度测量 激光准直 四象限光电探测器 单模光纤
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与设计
• 页码范围: 699-701
• 页数: 3页
• 分类号: TN249
• 字数: 1952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2003.06.013

摘要

介绍了用半导体激光器、单模光纤准直激光束作为测量基准轴线,四象限光电器件作为位置传感器,并由单片机进行数据采集、处理与测量结果显示的直线度准直仪.通过稳定性实验、重复特性实验和双频干涉仪比对实验,验证了本直线度测量系统的可行性.实验结果表明,测量系统实现的测量精度为(1.0+2×L)μm(L为准直距离,单位为m),测量范围为10m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	匡萃方	北京交通大学理学院	18	937	13.0	18.0
2	冯其波	北京交通大学理学院	65	1465	21.0	37.0
3	陈士谦	北京交通大学理学院	18	306	11.0	17.0
4	刘欣	北京交通大学理学院	7	124	3.0	7.0
5	冯俊艳	北京交通大学理学院	4	406	4.0	4.0