国外高可靠军用集成元件技术研究综述

• 作者: 于凌宇
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 集成元件 集成薄膜电阻器 集成薄膜电容器 集成无源组件 工艺技术
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 国外可靠性与环境试验技术
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TM53/59
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2003.03.013

摘要

介绍了国外集成薄膜电阻器、电容器及无源组件的关键工艺技术的研究情况。