酸增殖剂研究进展

• 作者: 余尚先 张改莲 王力元 王文君
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 工学
• 关键词: 化学增幅抗蚀剂 酸增殖剂 光致抗蚀剂 感度
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 296-302
• 页数: 7页
• 分类号: TQ57
• 字数: 4200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2003.04.008

摘要

本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张改莲	北京师范大学化学系	17	188	8.0	13.0
2	余尚先	北京师范大学化学系	39	145	7.0	9.0
3	王力元	北京师范大学化学系	22	78	5.0	8.0
4	王文君	北京师范大学化学系	8	111	4.0	8.0