陶瓷球研磨成型机理的研究

• 作者: 吕冰海 常敏 楼飞燕 王志伟 袁巨龙
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷球 成球机理 去除效率 研磨轨迹
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TG580.68
• 字数: 2366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2003.09.016

摘要

讨论了陶瓷球的成球机理,分析了一种新的研磨加工方法,即采用三块能够独立选择的研磨盘,通过控制研磨盘的转速,调整自旋转角的大小,可在较大的范围内取值,同时对计算机仿真和实验的结果进行了对比.结果表明:该方法结合化学机械抛光(CMP)等先进的抛光工艺,能够有效地提高陶瓷球的加工效率和质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志伟	浙江工业大学机电学院	18	478	7.0	18.0
2	袁巨龙	浙江工业大学机电学院	116	1467	19.0	35.0
3	吕冰海	浙江工业大学机电学院	51	710	11.0	26.0
4	楼飞燕	浙江工业大学机电学院	14	53	4.0	7.0
5	常敏	浙江工业大学机电学院	6	77	6.0	6.0