在SPM通用平台上自己开发组装扫描探针显微镜

• 作者: 赵于勒
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜(SPM) 扫描隧道显微镜(STM) 原子力显微镜(AFM) 通用平台 自己开发组装
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米测量技术与仪器
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 2856字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2003.03.012

摘要

SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统,它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系.本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法,以及智能型SPM通用平台的研究思路.希望与相关领域的专家开展合作.

作者信息

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1	赵于勒		2	0	0.0	0.0