金钢石膜表面抛光与平整技术进展

• 作者: 万静 冉均国 苟立
• 来源期刊: 现代技术陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 抛光 平整
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-1198.2003.01.008

摘要

综述了金刚石膜抛光与平整技术,例如研磨、热化学抛光、离子束抛光、化学机械抛光、等离子抛光、激光抛光等方法的优点与不足,重点分析厚度较小(约几微米)的金刚石薄膜抛光与平整的可行途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苟立	四川大学无机材料系	100	858	13.0	25.0
2	冉均国	四川大学无机材料系	130	1122	16.0	28.0
3	万静	四川大学无机材料系	6	11	1.0	3.0